參與者：李家宏、李港生、林知樂、周炳、高為邦、徐華、黃三本、許川海、陳嘉孟、黃謄鋒、童景熙、楊展志、趙安祥、劉匡華、劉定泮、鄭永華、劉聖龍



    今天很開心的又見到張教授，距離上次2011/12/21張教授週三論壇的專題時間剛好三個月整，希望6/20週三再約張教授的專題呢。圍繞在這樣專業的學術氣息之下好生幸福！今天的專題是「台灣高科技與廠房設施之關鍵技術」。高技術產業分為六個類別：積體電路、光電儀器、生物醫學、遠距通訊、精密機械、和電腦週邊設備。對於今天的專題，會分下列大綱做說明：
•高科技定義
•台灣高科技的目前狀況
•奈米科技
•廠房設施之關鍵技術
•結論



    台灣高科技的目前狀況可以看以下新聞稿有清楚說明：
掌握亞洲ICT市場商機潛力 經建會綜計處 新聞稿 (100.1.20)
–台灣為全球ICT生產鏈的重要一環。2010年有多項ICT產品排名全球前3大(見表一)，其中晶圓代工、IC封裝、IC測試、Mask ROM 與 EPROM等產品更居世界第一。教授並提到台灣2009年資通訊產業中資通訊硬體製造是世界排名第一。

    至於奈米，甚麼是奈米呢？奈米是10的負9次方；什麼又是奈米科技呢?100奈米以下的科技稱之奈米科技。為在此提供相關資訊，教授為大家說明掃描隧道顯微鏡。
•掃描隧道顯微鏡（scanning tunneling microscope，縮寫為STM），亦稱為掃描穿隧式顯微鏡，是一種利用量子理論中的隧道效應探測物質表面結構的儀器。它于1981年由格爾德•賓寧及海因里希•羅雷爾在IBM位於瑞士蘇黎世的蘇黎世實驗室發明，兩位發明者因此與恩斯特•魯斯卡分享了1986年諾貝爾物理學獎。
•它作為一種掃描探針顯微術工具，掃描隧道顯微鏡可以讓科學家觀察和定位單個原子，它具有比它的同類原子力顯微鏡更加高的解析度。此外掃描隧道顯微鏡在低溫下（4K）可以利用探針尖端精確操縱原子，因此它在奈米科技既是重要的測量工具又是加工工具。



    最後張教授對今天的專題做了一個結論：
•半導體製造產業對於台灣經濟發展具有舉足輕重之影響，要持續領先優勢，其廠房設施之配合更是製造過程中不可或缺的重要環節。
•隨著製程尺寸愈來愈小，廠房環境控制的要求之等級亦愈來愈嚴謹。
•半導體先導技術之研發製造必須在嚴格控制的潔淨室中，穩定的製造平台上，及/或沒有電磁波干擾的環境下進行。
•關鍵技術在於空氣純度(AMC)、電磁波(EMI)及微振動(Micro-Vibration)的量測及防制。

    這些這有深度的資訊，教授用非常淺顯易懂的方式讓大家明白，今天來聆聽專題的會員，相信大家都有一種賺到了的感覺，張教授，您下次還要來講專題喔，我們非常期待！謝謝大家今天的參與，期待後續！